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電子車間凈化裝修

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光學電子無塵車間設計方案。

無塵車間施工的原則是可靠性、實用性和規范性,即施工標準和工藝參數不僅要滿足使用要求,還要嚴格執行施工質量驗收和無塵車間施工質量驗收的雙重標準。以有機光電子設備無塵車間的施工過程為例,施工過程中必須逐項驗收進場材料,注意檢查涉及安全和功能性產品的保修,及時跟蹤隱蔽工程的完成情況,有效保證無塵車間的施工質量。

1無塵車間凈化系統。

空氣凈化技術的實施方案主要涉及空調機組的安裝和送回風管的施工,重點關注管道施工和風量調試標準。例如,送風管道的保溫效果直接影響空調效率,外風機銅管的切割焊接工藝直接影響制冷劑的循環;此外,通風次數和送風量的調整直接影響清潔度等級。

2無塵車間污染源區應有效分隔。

3.2承重面改造。

無塵車間除水管采用埋地方式,大部分功能管通過天花板連接到各工藝要求點。改造項目所在房屋頂面為三明治板,不能承受多個專業工藝管道。無塵車間施工單位應制定頂面加固方案,通過吊裝槽鋼和鋪設鋼板實現無塵車間頂面的安全。

薄膜間運行中有若干高質量的高真空鍍膜儀等工藝設備,布局設計中會集中放置有承重要求的儀器。改造工程所在階梯教室的地面找平后露出地板,不能保證局部承重1000kg/m2。建筑設計公司制定地板加固方案,通過架設鋼梁和覆蓋鋼板來實現潔凈室的地面安全。

3.3集中供氣系統。

薄膜與分析之間需要特殊的高壓氣體,如高純氮、氧、氮、氮氫混合物,并建立相應的管道供應到每個工藝需求點。氣路管徑根據流量、壓力和距離確定,氣路閥根據供氣方式、氣體類型和管道壓力確定功能部件,遵循安全、美觀、維護方便的原則。

有機光電器件潔凈室的高純氮對流量、壓力和總供氣量有要求,采用半自動切換匯流排氣和余量報警裝置進行雙重保障;氧氣、氮氫混合物增加氣體回火防護裝置,氣瓶采用防爆墻隔離,安全雙重保障。此外,氣路施工采用自動焊接機,確保管道無殘留、零泄漏,匯流排氣增加吹掃裝置,確保更換氣瓶時進入高壓軟管的少量空氣排出。

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