無塵車間的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)和技術(shù)密切相關(guān)。目前，它已廣泛應(yīng)用于生物制藥、醫(yī)療衛(wèi)生、食品日化、電子光學(xué)、能源、精密設(shè)備等行業(yè)。

空氣潔凈度等級（aircleanlinessclass）：在潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子濃度限值劃分的等級標準。無塵車間按空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)進行測試驗收，符合要求《GB50073-2013潔凈廠房設(shè)計規(guī)范，《GB50591-2010潔凈室施工及驗收規(guī)范。

清潔度和控制污染的可持續(xù)穩(wěn)定性是檢驗無塵車間質(zhì)量的核心標準。該標準根據(jù)區(qū)域環(huán)境、清潔度等因素分為國際標準和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標準。

ISO1444-1國際標準

GB50073-2013標準

中國GMP新版（2010年修訂）GMP附錄1無菌藥物.第三章.第九條……潔凈區(qū)各級空氣懸浮顆粒的標準規(guī)定如下

各國潔凈度等級近似對照表

無塵車間（潔凈室）等級說明

1.個等級定義模式如下：

ClassX(atYμm)

X是無塵室的等級，如100或100000等，Y是粒徑如0.2μm,0.5μm等等，可以重新選擇。這意味著用戶規(guī)定無塵室的顆粒含量必須滿足這個等級的限制。這可以減少爭端，以下是幾個例子：

Class1(0.1μm,0.2μm,0.5μm)

Class100(0.2μm,0.5μm)

Class100(0.1μm,0.2μm,0.5μm)

在Classes100(M3.5)andGreater(Class100，1000，10000...)，一般看一個粒徑。在那里。ClassesLessthan100(M3.5)(Class10，1...)，一般要看多少粒徑。

2.其次，技巧是規(guī)定無塵室的狀態(tài)，如：

ClassX(atYμm)，At-rest

供應(yīng)商非常清楚無塵室應(yīng)該在At-rest狀態(tài)下驗收。

第三個技巧是自定微粒濃度上限，一般在As-built當無塵室非常干凈顆粒控制能力測試不容易，此時可以簡單壓低驗收上限，如：

Class10000(0.3μm<=10000)，As-built

Class10000(0.5μm<=1000)，As-built

這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態(tài)時，仍有足夠的顆粒控制能力。

半導(dǎo)體行業(yè)無塵車間(潔凈室)案例圖集

1.黃光車間多建在百級潔凈區(qū)，千級潔凈區(qū)也涉及到

2.半導(dǎo)體潔凈室(高架地板)常用于百級和千級區(qū)域

3.常規(guī)半導(dǎo)體潔凈室(潔凈區(qū):萬級至十萬級)